1.真空室的真空可达6.6*10-5Pa；

2. 可容纳样品最大尺寸：100*100mm。

3.样品转速连续可调，转速 5～20 转/分

热蒸发镀膜机的原理是加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使

其表面原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到基片表面，凝结形成固态薄膜。蒸发镀膜的特点是：设备比较简单，方便操作，制成的薄膜纯度高、质量好，膜厚可以准确的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以获得清晰的图形，薄膜的生长比较单纯。

样品尺寸：最大 150mm 圆形，支持最大晶圆厚度：8.5mm

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详细请参考操作手册

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