Semishare

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直径为8英寸的真空腔体，带2英寸高红外透射率观察窗

直径为6英寸的防辐射屏腔体，带4英寸低红外光，高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘

六个探针臂接口，可以安装六个探针臂

一个KF40真空抽气口，一个快速破真空进气口

同轴制冷剂出入，能够提高使用冷剂效率（可采用液氮或者液氦）

漏率优于：1.3*10^-10Pa.M3/s

常温降温至4.5K的时间优于：30mins

温度稳定性优于：+/- 50 mK

在高温和低温环境状态下对器件进行性能分析

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200W样品台直流加热

PID温度控制

温控范围：77K-450K(液氮)，4.2K-450K(液氦)

PID温度控制器分辨率:0.1℃

传感器温度误差：任何一区段0.5%

包含两只PT100温度传感器：样品台，辐射屏

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