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数字微纳光刻系统

信息来源：发布日期： 2023-09-19 浏览次数：

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	资产编号:	/	型号规格:	Miscan-200	生产厂商:	/
	所属单位:	平板显示实验室	放置地点:	1楼北区	国家:	/
	负责人A:	邹振游	负责人B:	乐建避	负责人C:	杨天溪
性能指标:	1.无需掩模曝光，激光直写 2.最大支持8''基底，支持GDSii、DXF、BMP等文件格式 3.光刻精度高，最小结构尺寸0.5μm，自动聚焦对准 4.扫描式曝光、支持灰度曝光
主要应用:	/
样品要求:	/
仪器说明:	/
操作规范:	/
收费标准:	/
设备图片：